sem5000x是一款超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡,其分辨率達(dá)到了突破性的0.6 nm@15 kv和1.0 nm@1 kv。高分辨物鏡設(shè)計(jì)、高壓隧道技術(shù)(supertunnel)以及鏡筒工藝升,實(shí)現(xiàn)了低電壓分辨率的進(jìn)一步提升。全新設(shè)計(jì)的樣品倉,擴(kuò)展接口增加至16個,快速換樣倉大支持8寸晶圓(大直徑208 mm),大擴(kuò)展應(yīng)用范圍。高掃描模式和自動功能增強(qiáng),帶來了更強(qiáng)的性能和更好的體驗(yàn)。
更新時(shí)間:2024-10-18